E0295 電子顕微鏡用試料作製装置
産業技術環境研究本部工業試験場
| 項目 | 内容 |
|---|---|
| 分類 | 0112：その他の理化学機器・装置 |
| メーカー | 日本電子株式会社 |
| 型式 | SM-09010 |
| 概要・用途 | ブロードなArイオンビームと遮蔽(しゃへい)板を用いて試料の断面を加工する。 |
| 仕様 | イオン加速電圧 2～6kV イオンビーム径 500μm(半値幅) ミリングスピード 100μm/H（加速電圧：6kV、シリコン換算、エッジ距離：100μm） 最大搭載試料サイズ 幅11mm×長さ10mm×厚さ2mm |
| 料金 | 最初の1時間 7,510円 以降１時間ごとに 1,980円 |
| 所有機関 | 下記宛に「E0295：電子顕微鏡用試料作製装置の使用を希望」とお伝えください。 ものづくり支援センター 工業技術支援グループ【LINK】 〒060-0819 札幌市北区北19条西11丁目 TEL 011-747-2348 FAX011-726-4057 Email iri-sodan@ml.hro.or.jp |
